GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

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标准编号:GB/T 1552-1995
文件类型:.rar
资源大小:404.0KB
标准类别:国家标准
资源ID:8259
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GB/T 1552-1995标准规范下载简介:

GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法 本标准规定了用直排四探针测量硅、锗单晶电阻率的方法。本标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍的硅、锗单晶的体电阻率以及测量直径大于探针间距的10倍、厚度小于探针间距4倍的硅、锗单晶圆片(简称圆片)的电阻率。
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