标准规范下载简介：
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GB／T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷.pdf本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。 本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。它 主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅 欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注人源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光 导纤维和光电传感器等。 分子式：SiH。 相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.1气体湿度的测定第1部分：电解法 GB/T7144气瓶颜色标志 GB/T11446.1电子级水 GB/T14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB/T16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 TSGR0006气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例 特种设备安全监察条例
硅烷的质量应符合表1和表2的要求。
4.1抽样、判定和复验
4.1.1硅烷产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时20kV及以下配电网工程设备材料价格信息(2020年上半年)（定额[2020]37号 电力工程造价与定额管理总站2020年9月25日）.pdf，则判该产 品不合格。生产企业应确保每一包装硅烷产品符合本标准技术要求。 4.1.2硅烷采样安全应符合GB/T3723的相关规定。
4.2.1总杂质含量按式(1)计算：
总杂质含量按式(1)计算
2.2硅烷纯度按式(2)计
采用电感耦合等离子质谱法（ICPMS)测定硅烷中的铝、锑、砷、硼、、磷、铬、铜、铁、镍、锌等 及其他元素的含量。 检测限：不大于0.01μg/L
4.6.3.1吸收装置图参见附录A。 4.6.3.2取样前，用高纯氮气充分吹扫气路及阀门。 4.6.3.3吹扫完毕后用移液管准确移取30mL吸收液加人到洗气瓶中，用氮气吹扫约30min后，关闭 氮气缓慢打开硅烷钢瓶并调节流量，以300mL/min的流量通入约20L硅烷，记录吸收硅烷样品量， 记录大气压力和温度的数值。 4.6.3.4吸收完毕后再用氮气吹扫气路约30min，关闭氮气取下洗气瓶。 4.6.3.5同时作氮气空白
4.6.3.1吸收装置图参见附录A。
按电感耦合等离子质谱仪(ICPMS)说明书开启仪器，调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定 后即可测定。
4.6.4.2.1标准样品的测
用金属及其他元素的标准溶液进样。记录标准溶液中金属及其他元素信号强度。每种标准溶液至 少重复进样两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于5%，取平均值，
4.6.4.2.2样品的测定
将吸收后的样品溶液以测定标准溶液同样的测定条件进样，记录不同金属及其他元素信号强度，重 复进样至少两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于15%，取平均值，
4.6.4.2.3空自的测定
按测定样品的方法测定空白吸收液
按测定样品的方法测定空白吸收液
4.6.5试样体积的计算
试样体积按式（3）计算：
试样体积按式（3)计算： PX293.1 V= 101.3(273.1+t) Xu 式中： V 20C，101.3kPa的试样体积的数值，单位为升（L）； P 一 吸收时的大气压力的数值，单位为千帕(kPa)； t 吸收时的温度的数值，单位为摄氏度（C)； V 一吸收的硅烷样品量，单位为升（L)。
吸收液中金属及其他元素的含量按式(4)计算： C;=A;/ AXcs 式中： 吸收液中金属元素的含量，单位为微克每升（μg/L)； A;一样品的信号强度； A 标样的信号强度； C。 标样的含量，单位为微克每升(μg/L)。 硅烷中金属元素的含量，数值以10表示，按式（5)计算：
空白溶液中金属元素的含量，单位为微克每升(μg/L)； V 吸收液的体积，单位为毫升（mL)； M 硅烷的摩尔质量（M=32.117)，单位为克每摩尔（g/mol)； M 待测金属元素的摩尔质量，单位为克每摩尔（g/mol)； 1.342 "一20C、101.3kPa时硅烷的密度，单位为克每升（g/L）。
DGTJ 08-2326-2020 建筑消能减震及隔震技术标准.pdf标志、包装、购运及安全
5.1标志、包装及贮运
5.1.1硅烷的充装及贮运应符合TSGR0006、《危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全监察条例》 的相关规定。 5.1.2包装硅烷的气瓶应符合GB/T5099的规定。 5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推 荐使用DISS632。 5.1.4应防止泄漏和瓶口被污染。 5.1.5硅烷的充装应符合GB/T14193的相关规定。 5.1.6硅烷的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合 GB/T16804、GB15258规定的要求。 5.1.7包装容器上应标明“电子级硅烷"字样。
乳胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作 场所空气中。避免与氧化剂、碱类、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器应接地和跨接，防止产生静 电。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。 5.2.6储存注意事项：储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。钢瓶温度不应超过52C。 保持容器密封。应与氧化剂、碱类、卤素、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施 不应使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。 5.2.7防护要求：空气中硅烷浓度超标时，建议佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。紧急事态抢救或 撤离时，应佩戴空气呼吸器。应戴化学安全防护眼镜，穿防静电工作服，戴乳胶手套。工作现场严禁吸 烟。进人罐、限制性空间或其他高浓度区作业，应有人监护。 5.2.8硅烷基本物理化学数据物化性质参见附录B。
硅烷中金属及其他元素含量测定的吸收装置图参见图A.1
图A.1硅烷中金属及其他元素含量测定的吸收装置图
GB/T 15909—2017
附 录 B （资料性附录） 硅烷的基本物理化学数据
PTC预应力管桩施工方案(静压法)表B.1硅烷的基本物理化学数据