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GB／T 41852-2022 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法.pdf

A.1在德国和日本进行的循环试验大纲

常德仿古建筑装饰工程施工组织设计图A.1轮询试验试验结果示例（见参考文献[17）

A.2弯曲试验中柱状试样长径比对黏结强度试验的影响

本文件采用柱状试样评估MEMS微尺寸单元与衬底间的黏结强度。之所以选择圆柱形是因为弯 曲试验中能在柱状试样的末端施加点载荷。因此，点载荷模式下不需要进行精细的对位调整就能在柱 状试样的末端施加适当的负载。 但是，弯曲试验中应考虑柱状试样长径比对黏结强度的影响。如图A.2所示，剪切应力与最大拉 应力的比值会随着试样长径比的减小而增大。 对于长径比小于0.5的柱状试件，由于剪应力所占比例增大，极有可能发生由剪应力引起的分层 如图A.2所示。因此，这种情况下试验应采用剪切试验方法。 当柱状试样的长径比介于0.5～1.2时，随着长径比的增大，引起分层的主要因素由剪应力转变成 最大拉应力，如图A.2所示。也就是说，此时无法判断导致分层的究竞是剪应力、最大拉应力、还是它 们共同作用的结果。因此，不建议采用弯曲法试验长径比介于0.5～1.2的柱状试样。

图A.2 弯曲试验中柱状试样长径比对应力分布的影响（见参考文献2

弯曲试验中，随着加载工具刃口角度0。的不断增大，柱状试样末端的压应力与最大拉应力的比值 也会不断增大。当角度0，大到一定程度时，其影响就不能忽略了，如图A.3所示。因此，弯曲试验中合 适的刃口角度宜介于10～20°之间。