GB／T 39144-2020标准规范下载简介：
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GB／T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.pdf国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
GB/T39144—2020
GB 29706-2013 食品安全国家标准 动物性食品中氨苯砜残留量的测定 液相色谱-串联质谱法本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中 家半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司。 本标准主要起草人：马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋 倪
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氮化材料中镁含量的测定
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T14264半导体材料术语 GB/T22461表面化学分析词汇 GB/T32267分析仪器性能测定术语
、GB/T22461和GB/T32267界定的术语和定义
5.1二次离子质谱仪存在记忆效应，若测试过镁含量较高的样品，仪器样品室内会残留高含量镁，影响 镁含量的测试结果。 5.2仪器型号不同或者同一仪器的状态不同（例如电子倍增器效率、光圈大小、一次束流大小、聚焦状 态等），会影响本方法的检出限， 5.3在样品架窗口范围内的样品分析面应平整，以保证每个样品移动到分析位置时，其表面与离子收 集光学系统的倾斜度不变，否则会降低测试的准确度。 5.4样品表面吸附的镁离子可能影响镁含量的测试结果。 5.5测试的准确度随着样品的表面粗糙度增大而显著降低，应通过对样品表面化学机械抛光或者化学 离蚀抛光降低表面粗糙度。 5.6标准样品中镁含量的不均匀性会限制测试结果的准确度。 5.7标准样品中镁标称含量的偏差会导致测试结果的偏差
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扇形磁场二次离子质谱仪（SIMS），应配备有氧一次离子源、能检测正二次离子的电子倍增器、法拉 第杯检测器和样品架。其中，样品架应使样品的分析面处于同一平面并垂直于引出电场（一般5000V 土500V，根据仪器型号的不同而不同）
测试样品的分析面应平坦光滑，表面粗糙度Ra不大于2nm。典型样品的尺寸为边长 10mm的近似正方形，厚度为0.5mm～
将样品装入 人样品平坦地放在窗口背面，并尽可能多地覆盖窗
8.4.1移动样品架，使测试时样品上形成的溅射坑在窗口的中心位置附近。 8.4.2调节氧一次离子束的位置，使其处于分析区域的中心DB11T 1823-2021 山区水土保持生态修复与监测技术指南，开始二次离子质谱剖析。首先以第一扫 描面积溅射样品50个～100个磁场周期，直到镁的信号强度稳定。减小扫描面积到第二扫描面积，继 续溅射样品，直到镁的信号强度稳定，
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素"Ga+的离子计数率，对最后20个磁场周期的Mg、Ga+离子计数率的测试结果进行平均并输出 根据24Mg+、69Ga+离子计数率的输出值，计算出二者离子计数率之比。 3.4.4按照标准样品、空白样品、测试样品的测试顺序分别重复8.4.1～8.4.3步骤，对样品架上的样品 进行测试。 3.4.5如果测试的空白样品中的2Mg+离子计数率和"Ga+离子计数率之比超过测试样品的20%~ 50%，则停止测试，分析造成仪器背景较高的原因
9.1镁的相对灵敏度因子按式(1)计算：
镁的相对灵敏度因子按式(1)计算：
YS/T 916-2013 高纯镉[Mg|u =Su(Me) X RSF(Ma
在同一实验室，选取2片氮化镓单 ，采用二次离子质谱仪按照本 定的方法进行测试。该方法单 实验
试验报告应包括以下内容： a）样品来源及编号； b）标准样品和测试样品的编号； 测试样品的取样位置； d）镁的相对灵敏度因子； 测试样品和空白样品中的镁含量； f 使用的仪器型号； g）操作者及测试日期； ) 本标准编号： 其他与本标准不一致的内容