DB11/ 1631-2019 电子工业大气污染物排放标准

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DB11/ 1631-2019 电子工业大气污染物排放标准

4.1现有污染源自本标准实施之日起至2020年3月31日止执行第I时段规定的限值,自2020年4 月1日起执行第II时段规定的限值。 4.2新建污染源自本标准实施之日起执行第IⅡI时段规定的限值。 4.3厂区内VOCs无组织监控要求自2020年4月1日起执行。 4.4其他未划分时段的排放限值和控制要求等,自本标准实施之日起执行。

5.1电子工业生产过程中,设备或车间排气筒排放大气污染物浓度执行表1规定的限值。

GB 1886.51-2015 食品添加剂 2,3-丁二酮表1排气筒大气污染物排放浓度限值

适用于电子专用材料、电子元件、即制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件工业企业的确酸酸洗工艺。 适用于印制电路板和半导体器件工业企业。 适用于电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件工业企业。 适用于电子专用材料、半导体器件和显示器件及光电子器件工业企业。 °苯系物包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯。 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板和电子终端产品工业企业。 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板、半导体器件和电子终端产品工业企业

5.2VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置除满足表1规定的限值外,还需对排放烟气中的氮氧化物、二嗯 英类进行控制,达到表2规定的限值。

Cs燃烧(焚烧、氧化)装置除满足表1规定的限值外,还需对排放烟气中的氮氧化物、二嗯 控制,达到表2规定的限值

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VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置氮氧化物和二嗯

5.3进人VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置的废气需要补充空气进行燃烧、氧化反应的,排气筒申实测 大气污染物排放浓度,应按公式(1)换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度,并以基准 排放浓度作为达标判定依据。进入VOCs燃烧(楚烧、氧化)装置中废气含氧量可满足自身燃烧、氧化 反应需要,不需另外补充空气的(燃烧器需要补充空气助燃的除外),按排气筒中实测大气污染物浓度 作为达标判定依据,但装置出口烟气含氧量不得高于装置进口废气含氧量。

式中: 0基一一干烟气基准含氧量,%,取值为3; 0实一一实测的干烟气含氧量,%; 5.4非燃烧(烧、氧化)类废气处理装置的排放口以实测浓度作为达标判定依据。 5.5排气筒高度应按环境影响评价要求确定,且应不低于15m。排气筒排放氯气、氰化氢两种污染物 中任一种或一种以上时,其高度应不低于25m。 5.6当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时,应在废气混合前进行监测,并执行相应的排 放控制要求。若可选择的监控位置只能对混合后的废气进行监测,则应按各排放控制要求中最严格的规 定执行。

6.1VOCs物料的储存、转移和输送控制要求

6.1.1VOCs物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料仓中。盛装VOCs物料的容器或包 装袋应存放于储存室内。盛装VOCs物料的容器或包装袋在非取用状态时应加盖、封口,保持密闭。 6.1.2对于真实蒸气压≥2.8kPa且储罐容积≥20m"的挥发性有机液体储罐,应符合以下规定之一: a)采用浮顶罐; b)采用固定顶罐,应安装密闭排气系统,排气至废气收集处理系统并执行表1和表2规定的限值

c)采取气相平衡系统; d)采取其他等效措施。

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d)采取其他等效措施。 6.1.3固定顶罐应符合下列规定: a) 储罐呼吸阀、计量或取样装置,除工作、测量或取样外,应保持气密状态; 罐顶不应有破洞、裂缝或其他破损情况。 6.1.4 内浮顶罐应符合下列规定: 内浮顶罐应安装液体镶嵌式密封、机械式鞋形密封、双封式密封或其他等效密封的其中一种高 效密封方式; b) 罐顶上方VoCs检测浓度不应超过4000μumol/mol。 6.1.5外浮顶罐应符合下列规定: 外浮顶罐应采用双封式密封,且初级密封应为液体镶嵌式密封、机械式鞋形密封或其他等效密 封的其中一种高效密封方式; b) 初级密封外壳和二级密封不应有任何开口。 6.1.6液体VOCs物料应采用密闭管道输送。非管道输送方式转移VOCs物料时,应采用密闭容器。 6.1.7粉状、粒状VOCs物料应采用气力输送设备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送方式, 或者采用密闭的包装袋、容器或罐车进行物料转移。 6.1.8盛装过VOCs物料的废包装容器应加盖密闭。

6.1.3固定顶罐应符合下列规定:

6.2VOCs物料的使用过程控制要求

2.1VOCs物料的使用过程应采用密闭设备,或在密闭空间内进行操作,废气经收集系统导入 统后排放。不能密闭的,应采取局部气体收集导入处理系统后排放。VOCs物料的使用过程包括 限于以下作业:

a)溶剂复配、配胶等; 上(点)胶、涂漆、喷涂、涂覆、印刷等; c) 光刻、显影、刻蚀、扩散等; d)研磨、清洗、烘干等。

a)溶剂复配、配胶等; b)上(点)胶、涂漆、喷涂、涂覆、印刷等; c)光刻、显影、刻蚀、扩散等; d)研磨、清洗、烘干等。

6.2.2企业应记录含VOCs原辅材料的名称、使用量、回收量、废弃量、去向以及VOCs含量。记录 保存期限不得少于三年。 6.2.3实验室若涉及使用含VOCs的化学品进行实验,应在通风柜(橱)中进行,废气应排至VOCs 废气收集处理系统。

6.2.3实验室若涉及使用含VOCs的化学品进行实验,应在通风柜(橱)中进行,废气应排至VOCs 废气收集处理系统。

6.3.1对气态、液态VOCs物料流经的泵、压缩机、阀门、法兰及其他连接件等密封点大于等于2000 个的企业(不含洁净空间内的设备或管线组件密封点),企业应进行泄漏检测。满足下列条件之一,则 认定设备与管线组件发生了泄漏:

a)目测设备与管线组件存在渗液、滴液现象

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b)设备与管线组件密封点的VOCs泄漏检测值超过表3规定的限值。

3设备与管线组件密封点的VOCs泄漏检测限

单位:umol/mol

则认定企业未采取有效措施减少物料泄漏 企业应建立泄漏检查、检测与修复制度,对设备与管线组件应每周进行不少于一次的目视检查, 缩机等动密封点每季度检测一次,对设备与管线组件的静密封点每半年检测一次。泄漏检测应 ,记录检查时间、设备与管线组件状况、检测时间、检测仪器读数,修复时应记录修复时间和 成修复的时间,记录修复后检测仪器读数,记录保存期限不得少于三年。

6.3.3企业应建立泄漏检查、检测与修复制度,对设备与管线组件应每周进行不少于一次的目视检查, 对泵、压缩机等动密封点每季度检测一次,对设备与管线组件的静密封点每半年检测一次。泄漏检测应 建立台帐,记录检查时间、设备与管线组件状况、检测时间、检测仪器读数,修复时应记录修复时间和 确认已完成修复的时间,记录修复后检测仪器读数,记录保存期限不得少于三年。 6.3.4存在泄漏的设备及管线组件,应予以标识,并最晚不迟于自发现之日起15日内完成修复。符合 下列条件之一的设备与管线组件可纳入延迟修复范围,并于下次停车检修期间完成修复。 a)装置停车条件下才能修复; b)立即维修存在安全风险; c)泄漏源立即维修产生的VOCs排放量大于延迟修复的排放量。 3.3.5采用无泄漏型式的设备或管线组件,免干泄漏检测

6.4敲开液面VOCs逸散控制要求

5.4.1在安全许可条件下,废水收集系统(所有用于含VOCs、恶臭污染物废水集输的设备、管线) 应采用密闭管道输送;如采用沟渠输送的,应加盖密闭。废水集输系统的接入口和排出口应采取与环境 空气隔离的措施

4.2废水储存、处理设施的开液面上方100mm处的VOCs浓度,如大于100umol/mol,应符 规定之一:

a)采用浮动顶盖(曝气池和气浮池除外); b)采用固定顶盖,应排气至废气收集处理系统并执行表1和表2规定的限值; c)采用其它等效措施。

6.4.3对开式循环冷却水系统,每半年对流经换热器进口和出口的循环冷却水中的总有机碳(TOC) 浓度进行检测,若出口浓度大于进口浓度10%,则认定发生泄漏,并应进行泄漏源修复与记录,

6.5.1废气收集处理系统应先于生产活动及工艺设施启动,并同步运行,后于生产活动及工艺设施关 闭。废气收集处理系统发生故障或检修时,对应的生产工艺设备应停止运行,待检修完毕后同步投入使 用:生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行的,应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。

GB/T16758、AQ/T4274规定的方法测量控制风速,测量点应选取在距排风罩开口面最远处的VOCs无 组织排放位置,控制风速不应低于0.3m/s

组织排放位置,控制风速不应低于0.3m/s。 6.5.3废气收集系统的输送管道应密闭。废气收集系统应在负压下运行,若处于正压状态,应对输送 管道组件的密封点进行泄漏检测,泄漏检测值不应超过500umol/mol,亦不应有感官可察觉泄漏。泄漏 检测频次、修复与记录的要求按照6.3规定执行

a)吸附装置,应记录吸附剂种类、更换/再生周期、更换量; b 燃烧装置,应记录运行时操作温度; 采用其他VOCs治理设施,应记录保养维护事项,并记录主要操作参数; d)应记录VOCs治理设施及排污工艺设施的运转时间。

6.5.5采用非原位再生吸附处理工艺进行废气治理的,应按审定的设计文件要求确定吸附剂的使用量

5.5采用非原位再生吸附处理工艺进行废气治理的,应按审定的设计文件要求确定吸附剂的使 更换周期,每万立方米/小时设计风量的吸附剂用量不应小于1立方米,更换周期不应长于1个 吸附剂应进行处置或综合利用,购买吸附剂和废吸附剂处理的相关合同、票据至少保存三年。

6.6厂区内VOCs无组织监控要求

电子专用材料、电子元器件、印制电路板和电子终端产品工业企业应对厂区内非甲烷总烃无组 行监控。 区内非甲烷总烃无组织监控点浓度限值执行表4规定的限值。

表4厂区内无组织排放限值

7.1.2企业边界大气污染物浓度执行表5规定的限值。

7.1.2企业边界大气污染物浓度执行表5规定的限值。

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表5企业边界大气污染物浓度限值

3.1.1企业应依法按照《环境监测管理办法》和HJ819等规定,建立企业监测制度,制定监测方案, 对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测,保存原始监测记录,并公布监测结果。 8.1.2企业应依法安装污染物排放自动监控设备,自动监控设备要求按《污染源自动监控管理办法》 和HJ75中相关要求执行。 3.1.3企业应根据使用原料、生产工艺过程、生产的产品、副产品和实际排放监测结果,从大气污染

8.2.1按DB11/1195的规定设置废气采样口和采样平台,并满足GB/T16157、HJ/T397和DB11/T 1484规定的采样条件,

8.3.1对)区内NMHC无组织排放进行监控时,在)房门窗或通风口、其他开口(孔)等排放口外 1m,距离地面1.5m以上位置处进行监测。若厂房不完整(如有顶无围墙),则在操作工位下风向1m, 距离地面1.5m以上位置处进行监测。厂区内NMHC任何1小时平均浓度的监测采用HJ604、HJ1012 规定的方法,以连续1小时采样获取平均值,或在任何1小时内以等时间间隔采集3个以上样品,计算 平均值。 8.3.2企业边界大气污染物的监测采样应按HJ/T55的规定执行。企业边界大气污染物浓度应以任何 连续1小时的采样获取平均值,或在任何1小时内以等时间间隔采集3个以上样品,计算平均值,

习且 3.2企业边界大气污染物的监测采样应按HJ/T55的规定执行。企业边界大气污染物浓度应以 续1小时的采样获取平均值,或在任何1小时内以等时间间隔采集3个以上样品,计算平均值, 3.3泄漏和散开液面排放的VOCs检测应按HJ733的规定执行。

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4.1大气污染物浓度的分析测定应按照表6规定的方法执行。 4.2本标准发布实施后,国家发布新的污染物监测方法标准,如适用范围和条件满足本标准要 适用于本标准相应污染物的测定。

8.4.1大气污染物浓度的分析测定应按照表6规定的方法执行。

表6大气污染物浓度测定方法标准

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污染物浓度测定方法标

GB/T 40591-2021 电力系统稳定器整定试验导则8. 5监测工况要求

5.1对于建设项目环境保护设施工验收监测或限期治理后的监测,采样期间的工况不应低于 况的75%。对于监督性监测,不受工况和生产负荷限制。 5.2生产设施应采用合理的通风措施,不应稀释排放。

1本标准由市和区生态环境主管部门统一监督实施。

示准由市和区生态环境主管部门统一监督实施。 吸生态环境部门在对企业进行监督性检查时,可以现场即时采样或监测的结果,作为判定排污 饰全排达运准以及实游相关环培保拍能进旅的信据

9.2各级生态环境部门在对企业进行监督性检查时,可以现场即时采样或监测的结果,作为判定排污 行为是否符合排放标准以及实施相关环境保护管理措施的依据。

WS 376.1-2013 儿童保健基本数据集 第1部分:出生医学证明本标准中电子专用材料涵盖的产品如下:

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A.1电子功能材料: A.1.1半导体材料:单晶硅棒(片)、单晶锗、砷化镓等; A.1.2光电子材料:发光二极管(LED)用蓝宝石基片,液晶显示器件(LCD)、有机发光二极管显 示器件(OLED)、非线性晶体等所用的材料等; A.1.3压电晶体材料:石英晶棒及晶片、锯酸锂晶棒及晶片、钼酸锂晶棒及晶片、频率片等; A.1.4铝电解电容器电极箔:未化成电极箔、化成电极箔等。 A.2互联与封装材料: A.2.1 覆铜板:刚性覆铜板、挠性覆铜板、金属基覆铜板、印制电路用粘结片等; A.2.2 电子铜箔:印制电路用电解铜箔、压延铜箔、合金箔等。 A3工艺与辅助材料:电子浆料等

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