GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

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标准编号:GB/T 37959-2019
文件类型:.pdf
资源大小:5.3M
标准类别:电力标准
资源ID:225065
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GB/T 37959-2019 标准规范下载简介:

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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

软件平台的核心控制部分 理,实现从上下游接收信息,以及向 传递信息的功能。平台端数据库需包含4个重要的数据集(即4个重要要素):用户信息、产品 防真流程模板和仿真参数集。平台端数据库概念如图2所示,它阐述了信息模型各组件之间的 是本次发布的规范和未来相关规范的基础

图2平台端数据库概念图

图2列出了四个要素以及要素和要素之间的关系。 四个要素包括用户信息、产品信息、仿真流程模 板和仿真参数集信息。要素与要素之间的关系称为公共关联参数集,主要指明四个要素之间互相关联 折需要的信息, 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例参见附录A

仿真参数集用于描述仿真过程相关的参数信息SY/T 4120-2012 高含硫化氢气田钢质管道环焊缝射线检测,应主要包括: a)仿真模型参数:几何、材料、物性; b)仿真过程参数:仿真边界条件、仿真过程设置条件、仿真输出结果参数; c)仿真过程相关性参数:所属仿真流程、所属产品、所属开发人

5.2.2仿真流程模板

仿真流程模板用于描述定制化的仿真流程信息,应主要包括!

GB/T379592019

仿真过程各模块逻辑关系信息; b) 仿真过程各模块设置参数信息; c) 仿真流程模板对应参数集信息; d) 仿真流程模板对应产品信息; e)仿真流程模板对应所属人信息

仿真过程各模块逻辑关系信息; b) 仿真过程各模块设置参数信息; c) 仿真流程模板对应参数集信息; d) 仿真流程模板对应产品信息; e)仿直流程模板对应所属人信息。

产品信息用于描述仿真过程所涉及的产品具体信息,应主要包括: a)产品层级信息:类别、型号、对应文件; b)零部件信息:规格,对应文件; c)产品所属开发人信息

用户信息模型用于描述用户相关信息,应主要包括: a)用户本身信息:个人信息、权限等级; b)用户与产品、流程模板的关联信息

要素之间的关系称为公共关联参数集,主要描述四个要素之间互相关联所需要的信息,同时还需要 在这些关联参数集之间建立好相应的接口,保证各要素通过关联集内的参数进行交互和沟通。应主要 包括: 用户信息和角色信息的关系、角色信息和权限信息的关系; 产品和零部件关系:一个产品包含多个零部件、一个零部件可挂在多个产品下; 零部件和流程模板关系:一个零件可选择多个流程模板; d) 流程模板和参数集关系:一个流程模板对应多个仿真参数集

5.4.2~5.4.6对信息模型元素对象进行了概念性描述,描述格式说明如下: a)名称:元素的描述性称谓。 D) 类型:数据元素的格式描述。类型包括了元素的最大长度。所有的域均需使用ISO10646规 定的国际字符集。下面是常用类型的含义描述: 1)ID一用来唯一标识一个对象的元素 2)IDRef=对一个ID的引用 3)String(n)=描述性元素 4)Integer=整型元素 5)DATE=日期元素 备注:关于该元素的其他描述信息

4.2产品数据及其信息描述

产品信息描述如表1所示

零部件信息描述如表2所示

5.4.3仿真流程数据及信息描述

流程模板描述如表3所示。

流程模板描述如表3所示。

表3流程模板信息描述

参数集设置信息描述如表

表8仿真参数集设置信息描述

真参数信息描述如表9月

表9仿真参数信息描述

输人参数信息描述如表10所示

表10输入参数信息描述

GB/T379592019

输出参数信息描述如表11所示

表11输出参数信息描

工作信息描述如表12所示。

输出结果信息描述如表13所示

表13输出结果信息描述

5.4.5用户数据信息描述

用户信息描述如表14所示。

角色信息描述如表15所示。

权限信息描述如表16所

GB/T379592019

TB/T 2942.2-2018 机车车辆用铸钢件 第2部分:金相组织检验图谱含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例

表A1流程模板结构信息

表A.2各模块的参数

图A.1基本分析界面

图A.2优化分析界面

图A.3优化分析结果

GB 8954-2016 食品安全国家标准 食醋生产卫生规范GB/T379592019

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