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GB／T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf

工 一均值； 一一标准偏差； 1.66一t分布系数。 注：置信度（1一α)=95%、100个测试数据的置信上限对应的t分布系数t=1.66。 应使用公式（4)计算值：

6.2.9.3步骤b)

若测试结果的均值z≤10，则使用表1泊松分布来确定置信上限。 粒子浓度的均值按公式(1)计算。

DB11／T 465-2015标准下载表1步骤b)中的置信上限

注：基于95%置信度的泊松分布。

P。将用于6.2.10中的评估。 注：具体示例参见附录A。

6.2.10基于GB/T25915.1分级体系的评估

包含适用性测试可复现的所有信息。 包括下列章节推荐的信息。可添加进一步相关的

记录包含下列内容： a） 测试项目概述； b） 参考标准及指南； c）日 日期； d） 评估测试地点； e) 测试人员； f） 委托方； 设备描述，包括运行模式； h）被测设备标识。

除了通常的记录外，还有下列要求。 B) 1 对被测设备的观察：一般状况、受损状况、与动力设施相接的兼容性 b 对外观的目视检查： 1）描述目视检查的方法（如普通方式或放大方式，其他光源等)； 2）所选“关键”表面的描述及原因，包括示意图和实物照片； 3）此外，对设备的每一个表面进行目视检查： 所使用的放大倍率； 对所用光源的描述； 检查人员与所检查表面之间的距离；

对观察到的污染进行描述； 污染可移动性的评估结果

7.4测试环境评估记录

除了通常的记录外，应说明每个测试设备和装置的种类及校准状 a）悬浮粒子浓度： 1）对双方达成一致的粒径档进行测试； 2）对测试环境进行洁净度分级； 3）对采样探头及其朝向进行描述； 4）采样位置。 b）流速及测量位置。 c） 温度及测量位置。 d）相对湿度及测量位置。 e） 其他测试信息： 1）气流流向可视化、方法描述、结果、依据的音视频文件； 2） 静电及离子发生测试的方法描述及结果； 3）粒子沉降测试的方法描述及结果。

分级测试记录应包含下列内容： a） 测试布局现场图或示意图； b）测试环境的周围状况和安装环境： 1）温度， 2）相对湿度， 3）平均风速， 4）根据GB/T25915.1的洁净度等级ISON； c）已经进行的测试及结果； d）代表性运行模式； e）采样探头位置及选取原因； f） 运行参数； g）测试期间发现的任何异常； h）LSAPC的序列号、测量范围、校准信息； i) 采样探头种类； 1 测试时间； k）每个位置的采样次数； 1）采样流量及时间； m) ）所测粒径档及浓度； n）数 数据分析； o）测试后被测设备目视检查的结果。

应按下列方式表述设备在洁净室中的适用性。 a） 根据本文件，设备在代表性运行模式下的评估结果表明： 设备Z适用于在ISOX级的洁净室中使用（Yμm)。 其中， X为根据6.2.10确定的洁净度等级ISON； Y为测量的粒径档； Z为设备唯一性标识（如型号、序列号、制造商）。 b）代表性运行模式的陈述。 根据第7章的条款(包括目视检查的结果)所做的记录应是洁净室适用性完整表述的不可分害 部分。

A.2在一个HPC位置处的测量值

附录A (资料性） 测试数据处理示例

表A.1分级测试中每28.3L的测量结果

表A.2适用性测试的统计数据

对于粒径≥0.1μm 使用公式（A.3)

P=+1.66 .................） Vn P=16.33+1.66× .................（..） √100

因为计算值2=0.05，这不满足置信度水平的要求（z≥1.645），所以不适用于ISO3级（ /T25915.1)。 对于ISO4级和粒径≥0.1μm，每次采样28.3L时的粒子数量限值G为283。

因为计算值=37.49见公式（A.4）」，这满足置信度水平的要求（z≥1.645），所以适用于IS04级 （见GB/T25915.1）。 对于粒径≥0.2μm 根据之前的测试示例，粒径≥0.2μm的粒子数量均值为7.39，该值小于10。根据泊松统计分布理 论，应根据表A.4计算不超过给定洁净度等级限值G的概率。 表A.4给出了置信上限为P=12。 在上述例子中，P。=12小于ISO4级对应粒径≥0.2μm的等级限值G=67（见表A.3）。 根据测试数据计算结果表明：设备适用于ISO4级（0.2μm）洁净室，对应的粒子粒径≥0.2μm，且 不超过限值的概率≥95%。 对于粒径≥5.0μm 根据之前的测试示例，粒径≥5.0μm的粒子均值为0.90，该值小于10。根据泊松统计分布理论，应 根据表A.4计算不超过给定洁净度等级限值G的概率。 表A.4给出了置信上限为P=3。 在上述例子中，P。=3小于ISO6级对应粒径≥5.0μm的等级限值G=8.28（见表A.3）。 根据测试数据计算结果表明：设备适用于ISO6级（5.0μm）洁净室，对应的粒子粒径≥5.0um，且 不超过限值的概率≥95%。 基于GB/T25915.1一2021分级体系的评估 为了基于GB/T25915.1一2021的分级体系进行评估，需考虑以下内容： 采样量为28.3L，即0.0283m”，分别乘以GB/T25915.1—2021表1中的数字，可以得到表A.3中 相应的G值。

表A.3 计算得到的G值

湖北省通用安装工程消耗量定额及全费用基价表 第10册 给排水 采暖 燃气工程.pdf表A.3计算得到的G值（续）

表A.4步骤b）中的置信上限

能进行可选测试，以评估设备对工艺及相邻环境的影响。

通常对新设备进行洁净室适用性评估时，只是通过有限时间段的运行测试。 在不同的运行周期内，设备或其部件的粒子释放特性会发生变化，B.2对设备运行周期内的粒子发 生特性作了以下假设。 粒子释放随时间的变化特性能描述成3个阶段。 a）磨合阶段：当含有运行部件的设备开始启动，粒子的释放随着时间而改变。通常释放率会 下降。 b）稳态阶段：粒子释放会随着时间围绕一个均值波动。 c）恶化阶段：设备或单个部件的磨损通常导致更高的释放率。 按6.2规定，为了给发展趋势提供分析数据，在设备运行周期的不同阶段或在更长的监测周期进行 测试。

B.3粒子沉降测试方法

用一个或多个沉降皿进行粒子分布的沉降特性测试，并进行现场或线下分析。根据沉降皿在暴露 前后的表面粒子洁净度变化来表示结果（依据GB/T25915.9)。测试结果能用单位时间单位表面积上 粒径>Dμm的粒子数量表述。

向莆铁路某标区间路基施工组织设计B.4总释放速率测试方法

测试环境宜完全覆盖整个设备。