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GB／T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf宜考虑材料与清洁剂的相容性。选择清洁剂（如化学试剂、溶剂、高压气体、高压液体)时，宜考虑到 们与待清洁材料或物品的相容性，以及它们去除各种粒子或化学污染物的效率。 清洁剂和清洁技术会对表面造成不利影响。宜对表面材料(一种或若干种材料的组合)的化学属性 行技术评估。 以下介绍直接影响、间接影响、长期影响。 直接影响是清洁技术的工艺参数导致的、材料固有性能（物理或化学）的改变，工艺参数诸如： 溶剂的化学性质、暴露时间、温度。 例1化学表面结构的变化可能会明显改变物理性能。若清洁将最外面的亲水原子层改为疏水，表面的物理 性能就变了，例如，表面的润湿性和静电电荷。疏水表面不沾水，易带静电，且吸附粒子。 例2改变了表面粗糙度。 一 间接影响由不同的物理和化学机制引起，其原因是二次作用（例如：与基材中特定化合物的化 学反应)，或非工艺参数的影响（例如：降解、在空气中被氧化、残留物沉积形成新污染物）。 注：间接影响可能不会被立刻观察到。 长期影响是个缓慢过程（例如：化学清洁后产生的化学腐蚀、老化、退降)。 附录C给出化学溶剂的概况，但所列并非详尽。若缺少具体清洁剂的信息，应通过试验来评估材 的化学耐受性。
为了评估所选清洁规程的适用性，宜考虑清洁效率和清洁适宜度。 为了验证一种清洁工艺可以达到所需的表面粒子洁净度或化学洁净度，宜测定清洁后的表面SCP 或SCC 除此之外，还宜考虑重复性、再现性、操作者等其他因素。第8章给出了一些与清洁性能无关的要 求。尽管选择清洁方法时已经考虑了那些要求，验证过程还应确认那些要求是否得到满足。 图3和图4图示清洁效率和清洁适宜度的关系。 清洁效率=1一最终洁净度/初始洁净度（百分比） 清洁适宜度=所需洁净度/最终洁净度
定表面的初始洁净度和最终洁净度某市自来水六厂施工方案，以得到清洁
11.2.2按粒子浓度确定的清洁效率
清洁效率的计算见公式(1)。
图4 高清洁效率方法达到的合适的清洁适宜度
10SCP;N CSCP;D=k 1
11.2.3化学污染的清洁效率
清洁效率按公式(4)计算
Cscc=10SCCA
评估清洁适宜度时，将获得的最终洁净度应与所需的洁净度进行比较
11.3.2粒子清洁适宜度
吉适宜度按公式(7)计算
10SCP;N CSCP;D=k D
1.3.3化学清洁适宜度
结论：清洁适宜度可以满足要求。
12.2.2SCP直接测量法
12.2.3SCC直接测量法
A≥20×： D 10SCP
定SCC 在有的场合中，可以从物体上取出一个表面，在先进分析仪器中测量。 为适应测量系统，某些情况下允许从测试对象上取部分表面进行分析
12.3.2SCP间接测量法
12.3.3SCC间接测量法
表面洁净度的适用清洁方法的要素见图A.1。
表面洁净度的适用清洁方法的要素见图A.1。
应指出，有些清洁方法仅适用于洁净室外的预清洁。 可用多种清洁技术。本文件给出主要清洁方法，包括： 机械清洁； 一流体清洁； 一强力吹扫清洁； 一一化学清洁。 某些情况下，可用若干清洁方法的组合。 对于所有干法清洁技术，摩擦可能导致表面带电。静电加剧灰尘在产品表面的吸附。为了减少这 种黏附，可以在空气中注人正负离子数量相等的离子风并传送至产品表面，从而中和表面上的电荷。中 和避免了粒子在表面的再沉积。
原理：使用柔软、无磨损、无交叉污染的材料，去除轻微黏附的污染物（灰尘、脏水等）。若擦拭中使 用了清洁液，则主要清洁效果源于清洁剂的化学作用。使用抹布或带支持的抹布清除污染物时，需要借 助摩擦来克服污染物与物体表面间的黏附力。 应用：去除液体和粒子污染物时，擦拭特别有效。通常，擦拭是个手工操作过程。
原理：用毛刷，纯机械地扫除物体表面的固体污染物。塑料或天然纤维制成的软刷用于清除灰尘等 易分离的污染物。遇到氧化物、刻痕、涂层等牢固黏附的污染物时，可以使用不脱毛的硬刷。只要所选 毛刷不伤害表面，或只出现可接受的轻度擦伤，所有表面都可以用刷扫清洁。 应用：刷扫常用于相对清洁的平面
原理：刮削或研磨是 一种机械分离技术，将附着的固体污染物从物体表面分离或者去除（例如： 刮刀)。
原理：使用砂轮或高速砂带去除表面污染。打磨可以有效地去除鳞屑、氧化物、锈迹、涂层、油漆等 强黏附污染物。应注意，打磨时，基材也会或多或少受到磨损。 应用：砂轮是用黏接材料将碳化硅、金刚石等硬质砂粒黏接成的，砂粒和黏接材料的选择至关重要。
B.3.1洗涤、漂洗、干燥
B.3.1洗涤、漂洗、干燥
原理：借助液体的清洁通常包括：洗涤、漂洗、干燥。洗涤指的是去除物体表面已分离和被乳化的污 14
染物，以及溶剂清洁剂本身的活性成分（例如：物体表面上的表面活性剂和乳化剂)，此举可防止洗涤污 染物转移到下一个清洁步骤或在随后的冲洗或干燥中造成的再次污染。 漂洗的作用是去除洗涤过程中不需要的残留物。 干燥通常是最后一步。干燥去除前道工序残留的清洁介质。干燥无法清除前道工序的污染物。 应用：漂洗主要用于提高液体清洁后的洁净度。
B.3.2压缩气体吹扫
原理：经过喷嘴的高速气流喷吹物体以清洁表面。气体射流对粒子施以空气动力学的力。当颗粒 所受空气动力学的力克服了颗粒和表面的黏附力，颗粒就会脱离，并被气流带走。特别地，这项技术可 以有效去除干燥、黏附松散的污染物，如灰尘。用高速气体射流去除微米级颗粒效果欠佳。悬浮在气体 中的颗粒物可能会沉降到其他位置。 应用：仅涉及干燥污染物时，对大于5微米的颗粒具有良好的清洁效果。当使用文丘里喷嘴等高压 吹扫时，可以部分去除液体或糊状污染物
原理：吸尘口放在待清洁表面的上方，风机产生负压，抽力使气流离开物体表面。颗粒污染物受到 空气拖拽力。若拖拽力大于颗粒物与表面间的黏附力，则颗粒物从表面脱离并被气流带走。吸尘特别 适用于去除灰尘等干燥污染物。这项技术不适合用于去除微米级颗粒物。 应用：吸尘用于受控环境和难以触及的区域。
B.3.4.1超声波清洗
原理：超声波清洁时，待清洁物体悬浮在充满合适清洁液的浴槽中。振荡壁面上的超声波纵向传给 清洗槽中清洁液。内爆空化气泡产生约10*Pa高压，使表面污染物振落，然后溶解或分散在清洁液中 清洁后，表面需要冲洗和干燥。 超声波对难以清洁的内表面也很有效。 应用：超声波清洁可以在很短的时间内获得极高的清洁效果，甚至可以对形状复杂的物体、缝隙和 孔洞进行清洁。一般说来，超声波清洁是一种温和的清洁技术，它可以清洁易损敏感的表面而不产生 破坏。
B.3.4.2兆声清洗
原理：兆声清洗也属于声波清洗。兆声（800kHz~2000kHz)的频率比超声波（20kHz~500kHz)高 因此产生的气泡少，对清洁表面造成的损伤也少。清洗液中声波产生压力变化消除表面污染。只有面 向传感器的对象表面才能被清洁。 应用：医疗植入物、平板和芯片制造或工业零件清洗。
原理：高压使清洗液进人清洗环境（腔室)。加入水中的清洁剂有很多种。这种清洁的特点是： 具有高冲击力、工作介质始终为新介质。在喷淋清洁器中，移动待清洁对象物体或移动喷嘴，从而 寸象的所有表面。 应用：喷淋清洗用途广泛。
携带强力吹扫的介质分为：气体、液体。 强力吹扫清洁只适用于坚固的表面。
B.4.2.1压缩空气吹扫
原理：压缩空气中携带各种工质，工质以匀速或波动速度到达待清扫表面，进行表面清洁。这种方 法用途广泛，可去除污染物、残屑、腐蚀、鳞屑（与上面一致)、油漆。强力吹扫工质传递的高动能冲击可 能伤害表面。 应用：适用于清洁各种尺寸和类型的部件和结构，只能清洁与强力吹扫介质直接接触的区域。
B.4.2.2湿压缩空气吹扫
原理：此方法与压缩空气强力吹扫类似，区别是，强力喷射流中包含水和工质。 应用：适用于清洁各种尺寸和形状的表面和结构。强力吹扫后的表面覆有浆液，清洁完工前，要用 空气射流或清水射流去除泥浆。
B.4.2.3颗粒干冰清洁
原理：一80C左右的颗粒干冰(粒度在毫米级)被加速至接近音速（300m/s)。表面的快速冷却导 致表皮脆化。CO2升华时，易于清除表面附着的污染物。对表面的磨损比加压流体强力吹扫小。 应用：几乎适用于所有材料。由于该方法具有研磨特性，某些“软”表面可能会肉眼可见地变粗糙。
B.4.2.4加速CO雪清洁
原理：加速CO2雪清洁是一个干燥且无溶剂的过程。随着二氧化碳迅速膨胀，从液态CO2变成固 态CO2（干冰）和气态CO2的混合物。干冰喷吹到待清洁表面，纯氮气加速了清洁过程。CO2雪清洁是 颗粒干冰清洁的改进。在对表面的磨损方面，CO2雪清洁比颗粒干冰清洁更小。 应用：CO2雪清洁用途广泛，从精准清洁到大面积清洁。它可以用于高敏感的表面[陕西]国际大酒店工程钢筋连接专项施工方案，不仅可以清除 颗粒污染物，也可以清除油膜、油脂、指纹、焊剂残留。
B.4.3液体强力吹扫
B.4.3.1高压液体强力吹扫
原理：高压液体经喷嘴射向待清洁表面。可在液体中掺人固体强力吹扫材料，以提高磨蚀效果。理 想情况下，甚至可以清除单层涂层。冲洗后的表面覆有浆液，完工前视窗防护玻璃建设二期项目钢筋专项施工方案（2020），要用空气射流或清水射流去除 泥浆。 应用：适用于所有尺寸和形状的清洁表面和结构；仅与冲击介质直接接触到的区域才会被有效 清洁。
B.4.3.2含低压水强力吹扫
原理：类似于压缩空气强力吹扫，喷嘴前的空气中混人很少量的水。不同于纯压缩空气强力吹扫 用这种方法清洁的表面是湿的。