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GB／T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）.pdf

表4纳米线宽标准样板的性能参数要求

微纳米标准样板（几何量）检查时，环境温度应为20 C，温度变化不天于土1C/h，相对 应大于80%，洁净度不低于ISO6级（见GB/T25915.1一2010）

宜采用光学显微镜对微纳米标准样板（几何量）进行外观检查

7.2微纳米线间隔标准样板的性能参数

7.2.1 线间隔偏差

7.2.1.1测量设备

便用扫描电于显微镜或原于力显微镜对微纳米线目隔标准杆板的线目隔确差进行测量，或便， 性能相当的其他测量仪器测量

7.2.1.2数据采集区的选取

在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内，选取多个周期的线间隔长度作为数据采集区。选取 依据如下： 对于线间隔小于1m的微纳米线间隔标准样板，在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内选 取任意10个线间隔的长度作为数据采集区，见图9所示；对于其他尺寸的微纳米线间隔标准样板，可以 在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内选取2 线间隔长度作为数据采集区

a）制造厂厂名或注册商标； b）产品编号； c）标称值。

GB/T 51211-2016 城市轨道交通无线局域网宽带工程技术规范a）制造厂厂名或注册商标； b）产品编号； c）标称值。

微纳米标准样板（几何量）的包装应能适合任何运输工具运输，避免碰撞和雨雪直表

微纳米标准样板（几何量）应在洁净的环境中侵

微纳米标准样板（几何量）经检定符合本标准要求的应附有产品合格证，产品合格证上应标有本 标准号、产品编号和出厂日期

微纳米标准样板（几何量）经检定符合本标准要求的应附有产品合格证，产品合格让 准的标准号、产品编号和出厂日期