GB/T 6621-1995标准规范下载简介：

GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法 本标准规定了用相干光的干涉现象测量硅抛光片表面平整度的方法。本标准适用于检测硅抛光片的表面平整度，也适用于检测硅外延片和类镜面状半导体晶片的表面平整度。