GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法 更新时间:2008年02月19日 资源 GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:GB/T 14145-1993 文件类型:.rar 资源大小:125.0KB 标准类别:国家标准 资源ID:8225 VIP资源 GB/T 14145-1993标准规范下载简介: GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法 本标准规定了使用干涉相衬显微镜非破坏性测量硅外延层堆垛层错密度的方法。本标准适用于硅外延层厚度不小于3μm、外延层晶向偏离{111}晶面或{100}晶面角度较小的试样的堆垛层错密度测量。当堆垛层错密度超过15000cm-2或当外延层晶向与{111}晶面或{100}晶面偏离角度较大时,测量精度将有所降低。 公共安全标准 铁路运输标准 物资标准 船舶标准 石油天然气 建筑材料标准 轻工标准 纺织标准 环境保护标准 国家*用标准 档案标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 下一篇 GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法 相关文章