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GB／T 33523.602-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性.pdf

见图4。 注1：X、Y、Z方向的量均有适用的放大倍数。 注2：理想的响应是一条斜率等于1的直线，表示测得量等于实际量。

图4响应曲线线性化实例

注1：3.4.6的注2和注3也适用于本条。 注2：动态噪声包含静态噪声（3.4.7)。 3.4.9 X方向采样间距samplingintervalinX D 沿X坐标轴两个相邻测量点之间的距离。 3.4.10 Y方向采样间距samplingintervalinY D, 沿Y坐标轴两个相邻测量点之间的距离。 3.4.11 Z方向量化步距digitizationstepinZ D 在提取表面上，沿Z坐标方向两个坐标之间的最小高度变化量。 注1：通过在光谱仪曲线上寻找最大峰的位置来估计一个点的高度。虽然光谱仪的横向分辨力相对较小（小像素 数)，但色差探针(3.3.2)的Z坐标轴的数字化步骤被亚像素算法所改进。 注2：可使用多种算法来检测最大峰值的位置农机修理车间工程钢结构施工组织设计，可行的方法见表1。

表1检测算法效率对比

横向分辨力lateralresolution R 两个可检测要素之间的最小距离。 3.4.13 全高度转换的极限宽度widthlimitforfullheighttransmission W 测量时能够保证测量高度不变的最窄矩形沟槽的宽度。 示例1：测量沟槽宽度大于全高度转换的极限宽度的栅格，可以测得正确沟槽深度(见图5和图6)。 示例2：测量沟槽宽度比全高度转换的极限宽度窄的栅格，得到的沟槽深度不正确（见图7和图8)，在此情形下，信 号通常受到干扰且可能包含非测点。 注：计量特性包含： 一X方向采样间距和Y方向采样间距； 一2方向量化步距； 一所用滤波器。 以上计量特性在不影响横向分辨力和全高度转换的极限宽度的情况下适用。

图5水平间距大于或等于W栅格

注：栅格的间距和深度测量1

图5中栅格的测量结果

水平间距t'小于W的栅

图8 图7中栅格的测量结果

八年 能够被探测系统评定的表面特征的最大局部斜率。 例1：在一个倾斜平面镜上（镜面反射)，最大倾角约等于透镜的孔径半角（见图9和图10)。若倾斜角大于这一值， 反射光将无法被透镜所收集。 如图9所示，R为能够被探测器接收到的光线，R。为被反射后无法被透镜所收集的光线。只有部 分人射光线能够反射后被探测器所收集，导致信号水平相比于无倾斜平面镜探测情况较低。当倾斜角 接近孔径半角时，信号接近于0（见图9)。 当平面镜倾角大于孔径半角的角度时，所有照明光线均会被反射在透镜外（见图10)。 例2：在粗糙表面（漫反射)上，最大倾斜角大于孔径半角，散射光的角度分布取决于光斑尺寸内平面的粗糙度和局 部倾斜角。粗糙度越大，在镜面反射方向以更大的角度散射的光越多。

如图11所示，粗糙表面引起的漫反射会允许一定比例的照明光线反射后被探测器所接收，然而大部分光线无法被 透镜所收集。这一特点说明了粗糙表面比光滑表面的可探测倾斜角更大。 注1：“局部斜率”在ISO4287中定义。 注2：最大可接受的倾斜角很大程度上取决于工件粗糖度，工件反

图9反射镜的倾斜角小于孔径半角的反射

图10反射镜的倾斜角大于孔径半角的反射

粗糙表面上倾斜角大于孔径半角的反射

Wpor 光源针孔投影图像的最大横向尺寸。 注1：光斑尺寸取决于系统的设计特点：数值孔径（3.3.5）、放大倍率、光源针孔（3.3.10）、衍射和残余几何像差。 注2：光斑尺寸取决于光的波长。因此，在垂直高度测量范围内它不是常数。 注3：光斑尺寸越大，横向分辨力越粗糙，表面不规则度越平滑。 注4：可见光斑的尺寸比单色光束的对焦光斑大得多，因为人眼可看到由所有可见光波形成的聚焦和离焦图像 组成的光束包络（见图12)。由于白光中不同波长的光束通过色散透镜聚焦在光轴的不同点上，其中大部 波长的光束在样品表面的平面上离焦，因此产生的光斑尺寸在视觉上比单色光束形成的聚焦光斑直径更大

图12所有波长产生的焦散

八力时间 miuegiauiuluimn T 在光谱仪中，人射光在探测器上累积（积分)的时间。 注1：积分时间越长，收集的光就越多。在明亮的样品上使用较长的积分时间可使探测器饱和[饱和度取决于样品 的反射率和光源（3.3.9)的强度]。 注2：最短的积分时间通常受限于检测器的速度（从检测器到存储器传输频谱信号所需的延迟），处理器的计算能 力(信号需要在下一个周期之前处理)，光源的强度和探测器针孔大小（间隔期间需要收集足够的光)。 注3：在扫描轮廊线期间，每个数据点是在X方向一段区间内进行积分，该段大小取决于导线单元的速度和积分时 间。由于运动的影响，X轴的有效横向分辨力可大于静态横向分辨力。 17 测量频率measurementfrequency f 探测系统（3.3.1)每秒提供的数据点数。 注1：由测量频率确定的X方向采样间距(3.4.9)如下： D=U/f= 式中： D， 一X方向横向采样间距，单位为微米（μm)； U一X方向测量速度，单位为微米/秒(μm/s)； f一测量频率，单位为赫兹(Hz)。 注2：测量频率不能大于积分频率（即两个数据点之间的时间宜大于积分时间与计算时间之和)。例如，当积分频 率为1kHz时（积分时间为1ms)可选300Hz的测量频率。 注3：积分时间被用于代替积分频率，这是因为它与探测器上的曝光时间有关。相反，使用术语测量频率而不是测 量时间，是因为用户以点/秒为单位选择数据速率，而且测量时间可能与整个测量的持续时间相混酒。

探测系统（3.3.1)每秒提供的数据点数。 注1：由测量频率确定的X方向采样间距(3.4.9)如下： D=U/fm 式中： D， 一X方向横向采样间距，单位为微米（μm)； U一X方向测量速度，单位为微米/秒(μm/s)； f一测量频率，单位为赫兹（Hz)。 注2：测量频率不能大于积分频率（即两个数据点之间的时间宜大于积分时间与计算时间之和）。例如，当积 率为1kHz时（积分时间为1ms)可选300Hz的测量频率。 注3：积分时间被用于代替积分频率，这是因为它与探测器上的曝光时间有关。相反，使用术语测量频率而不 量时间，是因为用户以点/秒为单位选择数据速率，而且测量时间可能与整个测量的持续时间相混淆。

附录A （规范性） 区域表面结构扫描仪器不同结构的分类 表面结构扫描仪器系统主要包括四个方面：X轴驱动、Y轴驱动、Z轴测量探针和被测表面。配置 方式可不同望城区高塘岭镇廉租房小区及配套用房施工组织设计，因此不同配置之间存在差异，见表A.1。

附录A （规范性） 区域表面结构扫描仪器不同结构的分类 面结构扫描仪器系统主要包括四个方面：X轴驱动、Y轴驱动、Z轴测量探针和被测表面。配置 不同，因此不同配置之间存在差异，见表A.1。

表A.1横向扫描系统配置

共聚焦显微(或共聚焦成像)包括： 成像光源针孔在工件表面成像为一个聚焦光斑； 将该聚焦光斑成像于鉴别针孔处。 图B.1阐述了共聚焦显微镜的光学原理。

南安市蓝溪湿地公园(码头区)及景观桥工程挡土墙专项施工方案方案图B.1 共聚焦传感器原理

这种光学系统的特点如下： 一两个针孔为共轭针孔（共聚焦原理）； 一光穿过物镜两次（方向相反）； 一一装置是同轴的。 光源发出的光束通过光源针孔，由消色差物镜聚焦于样品表面，从表面反射回来的光束通过鉴别针 孔由检测器(通常是光检测器)收集，鉴别针孔只允许聚焦在针孔上的光束通过，而阻挡针孔周围的离焦 光束。 当照明光束聚焦于表面时，探测器将接收到最大光强。 本装置可进行高度判别，因此可作为表面结构测量仪器的高度传感器使用。