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T／ZSA 39-2020 石墨烯测试方法 功函数的测定 紫外光电子能谱法.pdf导电薄膜功函数的确定在显示器件应用时起到至关重要的作用.随着基于右墨烯等新材料技术的柔 性显示器的批量应用，准确测定石墨烯柔性导电薄膜功函数在产业化方面的需求越来越大。 目前为止主流的功函数测试方法是开尔文探针力显微镜(KPFM）法。该方法准确，且可同时获得 测试范围内的材料形貌等信息，因此被市场广泛采用，用来测试上一代非柔性显示器件中氧化铟锡（ITO 玻璃的功函数。KPFM方法的缺点是测试时间相对较长，且测试范围较小，通常为几十至几百平方微米， 于石墨烯薄膜的缺陷度较高，因此功函数在膜片中的分布均匀性较ITO玻璃低．此时，光电子能谱 法（UPS法）测试功函数的优点逐渐显现。首先，UPS法的最大测试范围可至2mmX2mm，一定程度上 规避了KPFM过于微观的特性。其次，UPS测试便捷、快速，可以在几分钟内得到测试结果。此外，UPS 法还能同时得到样品的能带信息。 因此，UPS法测功函数可作为KPFM方法的有益补充。KPFM方法适用于对于研发等对微观精度要求 高的场合，UPS方法可快速准确获得宏观薄膜的整体功函数情况，适用于批量交付产品中的质量控制， 本文件规范了UPS法测功函数的方法，以规范UPS法测功函数的基本操作，使此方法在以柔性显示 器件为首的产业化进程中更好地发挥作用
本文件规定了紫外光电子能谱法测试石墨烯薄膜功函数的术语和定义、原理、试验条件、仪器设备 样品、试验步骤和试验报告 本文件适用于石墨烯功函数测定，其他透明导电膜材料功函数的测定可参照执行
[广州]商业中心空调管线迁移施工方案功函数 workfunction
在费米能级和正好在指定表面外最大电势处之间的电势差，又称功函或逸出功。单位为电子伏 ISO/TR ：2019.5.6.4 有修改1
功函数是材料的重要物理参数，能反应材料接触面的能级排列、电子及空穴注入势垒的大小来表征 器件的性能。紫外光电子能谱仪（UPS）通过在高真空环境下，用一束具有特定能量的紫外光源照射样 品表面，激发出光电子，然后用电子能量分析器测量这些光电子的动能，获得样品的低动能二次电子截 止边部分的能谱图，再根据样品二次电子截止边与费米边的能级差来确定样品的功函数.石墨烯薄膜的 典型UPS测试结果见图1
根据爱因斯坦光电发射定律，有
式中： ho一靶材发射谱线能量，单位为电子伏特（eV）； β功函数，单位为电子伏特（eV）； Eatof试样二次电子截止边能级，单位为电子伏特(eV) EFermm一一试样费米能级，单位为电子伏特（eV）。 根据式（1）可知，激发靶材的能量hv是已知的，可使用通过UPS测得阈值Eauog和EFerm，计算出 功函数。
附着在良好导电基材（铜、硅片等）上的石墨烯薄膜，或较完整地附着在玻璃等透明绝缘基材上石 墨烯薄膜。样品大小宜不小于10mm×10mm，形状宜为规则几何形状。 样品制备后的转移、携带、运输过程中应进行封装，在洁净环境下（宜采用千级以上级别的洁净间 除去封装5分钟内进行测试操作，如需对长期暴露在普通环境的样品进行检测，测试前应采取必要的清 洁工作，包括且不限于使用洁净的氮气进行吹扫或借助离子束清洗机等自动化设备， 注意：对于在碳化硅、氮化硅等基材上外延生长的石墨烯薄膜，其半导体基材可能影响测试结果。 应谨慎评估这类结果的准确性，或将待测薄膜转移到其他基材上进行测试，
8.5导出试样谱线； 8.6读取截止边中点所对应能级作为二次电子截止边能级（Eauor）；放大费米边曲线并对其做一次微 分，取微分峰值处对应的能级为费米能级（Eremi），按照式（1）计算试样功函数. 8.7重复8.2至8.6的过程，得到3组谱线数据和相应功函数结果.取样方案参见附录A； 8.8 三组试样测试结果的算术平均值即为试样的功函数，
试验报告至少应给出以下几个方面的内容： 试验日期、试验人员； 试验温度、湿度； 试样规格； 所使用的标准（包括发布或出版年号）； 试验靶材及靶材能量； 测试偏压； 试样截止能级、费米能级； 试样功函数； 观察到的异常现象，
附 录 A (资料性附录） 取样方案
某水泥厂建设工程项目施工组织设计图A.1矩形样品五点法取样位置示意图
图A.2圆形样品五点法取样位置示意图
本文件中要求对同一样品至少测试3组不同位置的能量曲线，如样品呈较规则的几何形 A.1和图A.2所示，取某对角线上的连续3个位置作为测试区域．即：编号为1、3、5的三区域 4的三区域。
件中要求对同一样品至少测试3组不同位置的能量曲线，如样品呈较规则的几何形状，宜按图 .2所示，取某对角线上的连续3个位置作为测试区域．即：编号为1、3、5的三区域或编号为2 区域。
对于形状不规则的样品，宜选取中心位置及分别落于中心位置两侧的形状变化处附近的位置，但需 注意选取位置需与边界保持一定距离，例如图A.3中编号为1、3、6的区域或编号为2、3、4的区域，
对于形状不规则的样品，宜选取中心位置及分别落于中心位置两侧的形状变化处附近的位置， 意选取位置需与边界保持一定距离DBJ 45-004-2012标准下载，例如图A.3中编号为1、3、6的区域或编号为2、3、4的区域
图A.3不规则样品取样位置示意图