SJ/T 11275-2002标准规范下载简介：

SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范 本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。