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SJ／Z 21584-2020 片式膜固定电阻器统计过程控制技术实施指南.pdf

如果逐件加工过程节点具有多品种特点，还应添加一列关于品种划分信息，描述每一组数据所属的 品种。例如，表A.2为片式厚膜固定电阻器电阻膜形成工序某自动印刷机连续25组阻值数据。每行为一 组，是每个批次中随机1片电阻基片上在四角及中间部位各1只电阻的阻值。由于不同批次电阻膜形成涉 及多种产品型号和不同目标值，是多品种情况，因此表A.2最右两列分别采用“产品型号”和“目标值”说 明品种的划分。

A.3对于批处理加工过程节点数据采集

对于批处理加工过程节点，如果不包含子组，则与单件加工的过程节点情况一样，一组数据（包括 组编号）记录在同一行。例如DL/T 1151.9-2012 火力发电厂垢和腐蚀产物分析方法 第9部分：氧化钙和氧化镁的测定，表A.3为片式薄膜固定电阻器电阻膜形成工序某磁控溅射设备某方阻段

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膜层连续25组方阻数据。每行为一组，对每个批次中随机抽取1片电阻基片，在四角及中间部位各抽取 消1只电阻的方阻。

表A.3连续25组方阻数据

如果每组数据存在子组，则每一行记录一个子组的数据，而且不同组数据中子组的顺序应该相同。 如果还同时存在多品种的特点，还应采用一列关于品种划分信息说明，描述每一组数据所属的品种。例 如，表A.4为片式膜固定电阻器电镀工序某电镀设备连续25组锡铅层厚度数据。每行为一组，对每个批 次中随机抽取5只电阻的锡铅层厚度。由于不同批次电镀工序涉及多种产品型号，是多品种情况，表A.4 最右一列采用“产品型号”说明品种的划分。

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测量仪器精密度评价方法

并通过计算Cpk表征工艺能力水平的高低。因此数据质量的好坏，将决定SPC的实施效果。按照GJB3014 的要求，对用于采集数据的测量仪器，不但要求量程和分辨率要满足数据采集的要求、通过计量校准保 正测量结果的正确性，还应进行精密度评价 本附录针对实施SPC的需要，说明测量仪器精密度（包括“重复性”和“再现性”）的评价方法以及需 要注意的问题

B.2测量仪器精密度评价要求

B.2.1测量仪器精密度的定量表征

测量系统的精密度描述不同操作人员采用同一台仪器多次重复测量同一个对象，测量结果分散性的 小，反映了测量过程的随机误差。影响测量系统精密度的因素主要是重复性和再现性。 a）重复性的定量表征：6重复性。正常情况下，同一测量者使用同一测量仪器重复测量同一对象时， 所得的测量值不会完全相同，一般服从正态分布。定量表征测量系统重复性的方法是计算同一 个操作人员采用同一台测量仪器重复多次测量同一个对象得到的多个测量数据之间的标准偏 差，记为重复性 b）再现性的定量表征：6再现性。再现性描述的是不同操作者（也包括不同时间、不同环境等不同的 条件）使用相同的测量仪器对同一产品的同一特性分别进行重复测量，所得测量结果之间的差 别。定量表征测量系统再现性的方法是计算不同操作人员采用同一台测量仪器重复多次测量同 样对象所得数据平均值之间的标准偏差，记为6晚。 C 测量系统精密度的定量表征：仪和6G。描述仪器精密度大小的参数是仪器标准偏差6仪器，又 简写为oG（G代表Gauge）。O仪与上述o重复性以及6再现性之间的关系为公式（B.1）：

夜器=0量复性+0高现性“

d）工艺参数分散性的定量表征：工艺和op。实际生产过程中，用工艺参数分布的标准偏差o工艺描述 工艺参数的分散程度。G工艺又简写为op（P代表Process） e）测量数据分散性的定量表征：の和oT。实际生产过程中，采集的工艺参数数据是用测试仪器测 量得到的，记测得的工艺参数数据分散性的标准偏差为6数据。显然，测得的工艺参数数据所表 现出的起伏实际上同时包括了工艺本身的变化以及测量仪器本身分散性这两种因素的总起伏， 因此又称为，简记为or（T代表Total）。G数据与6工艺以及6仪器之间的关系为公式（B.2）或（B.3）：

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如果有一个极差控制图上出现失控点 时应该对照其他几名操作者极差控制图的受控或者失控状态，进一步分析失控原因是由于仪器本身失 控、还是某个操作者不能胜任测试工作、或者这两个原因同时存在，

采用公式（B.8）计算表征重复性的omm

重复性 d(m,g)

0重复性= R d.(m.g)

式中R是对样本测量产生的所有极差的平均值；d(m,g)为系数，其值与参数m和g两个参数的取 与m、g的关系见表B.4。

B.3.4.1计算okmm

0再现性二 R d(m.g)

式中R就是不同操作人员测量结果平均值之间的极差R。m代表计算极差时采用的数据个数，等于 参与精密度评价的操作人员个数。g代表计算极差均值R时涉及的极差的个数。显然，对再现性评价情 况，R就是不同操作人员测量结果平均值之间的极差R，因此g等于1。

B.3.4.2计算（o需提性）格正

计算o需现性的公式（B.8）中实际上已包含有重复性因素，因此需要进行修正得到（o再现性）修正才是真 正的再现性评价结果。它们之间的关系为公式（B.10）

采用公式（B.11）计算表征仪器精密度的om

B.3.6.1计算总标准偏差α.的方法一

(幕现性）修正=(幕现性）一(重复性）

0仪a=o量复性+(C再现性）倍正 (B.11)

Rs d,(m,g)

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根据评价需要，对采集的数据进行相关处理，结果如表B.3所示。

直流电阻测量仪精密度评价原始数据的处理结果

步骤2：统计受控状态的分

分别对三名操作人员进行重复性评价，得

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（o量复性）A=R,/dz（2）=0.0054/1.128=0.004787 O量复性）B=Rg/d2（2）=0.0050/1.128=0.004433 （omn）c=R./dz（2）=0.0052/1.128=0.00461

由上述计算可见，（O重复性）A>（O重复性）B>（O量复性）C，这就说明，这三名操作人员中，相对 而言，操作者B的水平最高，操作者C次之，操作者A的水平最差。 将上述计算结果与6重复性的计算结果相比可见，重复性就是三名操作人员重复性结果（o量复性）A、 （G量复性）B、（o重复性）c的平均值。 步骤4：再现性评价 首先计算三名操作人员对20个样本测量结果平均值之间的极差

得 查表B.4得： 所以得：

）步骤5：精密度的评价

）步骤6：计算总的标准偏差

实际上包含有重复性的因素，需要对6进行修

童重复性 0.004612 现性）修正= 0.0030892 mxn 2x 20

0仪器=重复性+（0再现性）修 =V0.004612+0.0030022=0.005501

D工艺 Rs =0.0779/1.128=0.06906 d'(m,g)

0=+o=V0.069062+0.0055012=0.069

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工序能力指数（Cpk）计算方法

工序能力指数（Cpk）计算方法

为了保证片式膜固定电阻器生产 合格产品具有较高的质量可靠性，要求片式膜 固定电阻器制造过程每道关键过程节点均具有较高的能力水平，为此应该采用工序能力指数（Cpk）对 关键过程节点的能力水平高低进行定量表征 本附录给出制造过程中不同类型过程节点的Cpk计算方法， 以及需要注意的问题。

C.2Cpk常规计算方法

C.2.1Cok常规计算方法适用条件

采用C.2给出的Cpk常规计算方法要求工艺参数满足下面三个条件： a）工艺参数是测量数据值可以连续变化的计量值，而不是计数值。 b） 测量的工艺参数数据服从正态分布。如果工艺参数数据不服从正态分布，则采用C.3给出的计 算方法。 C 对评价的工序节点，只采用一个工艺参数表征，有时又称之为单参数问题。对需要采用多个工 艺参数表征其状态的工序节点，则采用C.4给出的计算方法

C.2. 2 工序能力指数常规计算方

C.2.2.1工艺加工规范要求

C.2.2.2工序能力指数常规计算方法

工序能力指数常规计算方法如下：

公式（C.2）计算实际的工序能力指数。可以证明，公式（C.1）和公式（C.2）在数学上是 效的。

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采用公式（C.7），直接用kxn个 居计算母体标准偏差的估计值s。

首先对每组n个数据计算标准偏差，得到与k组数据对应的k个标准偏差值s；（i=1,2,..，k）。 后计算这k个标准偏差值的均值s，，再采用公式（C.8）计算的s作为工艺参数母体正态分布标 准偏差的估计值：

S ./C. (...

S=s./c, (n)

其中C2（n）是与每组数据个数n有关的常数，如表C.1所示。 C 分组极差法 首先对每组n个数据计算计算极差，得到与k组数据对应的k个极差值R（=1,2...，k）。然后计 算这k个极差值的均值R，再采用公式（C.9）计算的s作为工艺参数母体正态分布的标准偏差

s= R/d,(n).

（n）是与每批数据个数n有关的常数，如表C.1所示

表C.1系数C、d与样本量n的关系

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表C.225组镍层厚度数据

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控制图的选用与控制限计算方法

判断生产过程是否处于统计受控状态的工具是控制图。本附录针对制造过程中几种常用的控制图 兑明与应用控制图相关的问题，包括控制图的选用、控制限的计算方法、以及需要注意的问题。 本附录适用于片式膜固定电阻器制造过程中控制图的应用

D.2.1“3g控制限

若工艺参数特征值Y服从均值为μ、标准偏差为o的正态分布，即Y～N（μ,²），则随机变量Y取值超 出（μ3α）范围的概率仅为0.0027，为小概率，通常情况下不会发生。因此GB/T4091规定采用下式确 定控制图的中心线（CL）、上控制限（UCL）和下控制限（LCL）。采用这种方法计算的控制限又称为 30控制限”。 对片式膜固定电阻器制造过程中采用的不同类型控制图，只要确定相应工艺参数特征值分布的均值 和标准偏差，就可以采用公式（D.1）计算中心线和上下控制限。

D.2.2“3控制限”对应的分位数

D.3计量值控制图的控制限计算

D.3.1常规计量值控制图

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设某一工艺参数x的总体服从均值为u、标准偏差为o的正态分布，即x～N（u.2），若定期抽取容 量为n的子样（x1，.…，xn），连续采集K组数据，分别计算得到这K组子样的均值和极差为（x，R） (i=1,2...k)，则： 文控制图的中心线和控制限计算如公式（D.4）所示：

R控制图的中心线和控制限如公式（D.5）所示：

式中： . R= k台 系数A2、D.和D:只与每组子样数n有关

FZ/T 93110-2021 磁性转子式假捻器UCL=D, ×R CL= R LCL= D,×R

差控制图的中心线和上下控制限计算如公式（D.7）

式中： x为K组单值数据的平均值； R为所有移动极差的平均值

UCL=3.267R CL= R, (D.7) LCL= 0

UCL=3.267R CL= R, LCL=0

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QLMYY 0004S-2015 山东利蒙药业有限公司 绿茶酸枣仁代用茶表D.2涉及两种型号产品的阻值偏差数据