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JCT2372-2016 集成电路用石英舟

对于8英寸石英舟在应力仪（可检测检偏镜消光转动角）下检测的检偏镜消光转动角度应小于15度 十以下石英舟在应力仪下通过观察产品各部位颜色判断，呈现均匀的蓝紫色光为合格

7.1 长度、宽度、高度、直径偏差

石英舟的长度、宽度、高度、直径尺寸的测量次数均为一次，实际测量值减公称尺寸为实际尺寸 偏差。 a 长度和宽度偏差：用分辨率值小于等于0.01mm的数显游标卡尺和高度尺测量： 高度偏差：将产品放置在平整度不低于2级的大理石平台上，用分辨率小于等于0.01mm的高 度尺进行测量； 直径偏差：用分辨率小于等于0.01的数显游标卡尺

GB/T 30032.3-2017 移动式升降工作平台 带有特殊部件的设计、计算、安全要求和试验方法 第3部分：果园用移动式升降工作平台1槽间距、总槽间距、首槽到基准面距离的尺

用分辨率小于等于0.01mm的三坐标测量机进行测量，在基准上取点建面建立沿舟长度方向的零件 坐标系，然后分别测量得到第一组槽中心点坐标、第二组槽中心点坐标..最后一组槽坐标（同理可得 到任意位置槽的中心坐标；如果基准面面积过小，可以用靠紧基准面的量块代替基准面）。仅对舟长度 方向的坐标进行减法计算，即可得到要求的数据。 这些尺寸偏差的测量次数为一次

7.2.2槽宽的尺寸偏差

用分辨率小于等于0.01mm的塞规或塞尺进行测量，选取首槽、末槽及中间位置的一个槽共三处 量并记录。

7.2.3槽深的尺寸偏差

该部分尺寸的检测于开槽后的部件检验时采用分辨率不低于被测参数偏差的三分之一的投影仪等 量具进行测量，成品检验时用数显游标卡尺对是否使用了正确的槽棒进行确认，选取首槽、末槽及中间 位置的一个槽共三处进行测量并记录。

7.2.4硅片放置测试的尺寸偏差

JC/T2372—2016

8英寸以下卧式右英舟使用厚度比槽宽的公称尺寸小0.1mm的硅片或仿硅片进行测试，8英守立式 石英舟采用厚度小于1mm的8英寸硅片或仿硅片进行测试。 石英舟卧式水平摆放时，需沿舟长度方向取至少三处（平均间距）试验硅片左右间隙是否合适：石英 舟立式垂直摆放时，需保证支撑硅片的所有石英槽棒与硅片背面均接触，没有悬空的槽棒，需沿舟高度 方向取至少三处（平均间距）试验硅片。

用分辨率小于等于0.01mm的三坐标测量机，对形位偏差的要求进行测量。测量次数为一次。

在白色或黑色衬底下用肉眼、数显游标卡尺及放大镜判断，在2只额定功率不低于40的荧 ，产品与光源距离不超过600mm的条件下观察。需要读数判定的微小缺陷可借助带刻度的分辨 1mm放大镜（一般为10倍）读取

7.5.1杂质元素含量

/T3284规定检验。试样应从石英舟上与硅片接

8英寸石英舟应在应力仪下检测检偏镜消光转动角度，8英寸以下石英舟在应力仪检验台中心 旋转，使视场中出现亮度最大的干涉色，观察其现的颜色，

分为出厂检验和型式检验

8. 2. 2 判定规则

所有检验项目合格则判定该批产品合格，否则判定为不合格

JC/T23722016

JC/T23722016

d）产品停产6个月以上恢复生产时

包括本标准第6章规定的全部检验项目。采用首件检验的方式进行。

NY/T 232-2011 天然橡胶初加工机械 基础件8. 3. 3 判定规则

验验项且合格则判定该批产品合格，否则判定为

9标志、清洗、包装、运输和购

9标志、清洗、包装、运输和购存

每批产品出厂时应附有产品合格证，合格证上应注明： a）产品分类： b 产品名称： c） 产品图号： d） 生产批号： e 标准编号： f） 检验员编号， 包装箱上应有储运图示标志，如“玻璃制品”、“小心轻放”、“请勿倒置”、“防潮”等字样或 图形以及产品标记、厂名或商标。

产品在洁净环境（方级净化）下，首先使用（5土1）%的HF酸液浸泡清洗5min～10min 阻率大于15MQ的超纯水进行清洗，

产品在洁净环境（万级净化）下先单件包装，包装应满足防护、防尘的要求，避免产品的划伤、破 杂。放入包装纸箱内，箱子上/下/左/右/前/后六个面全部填充海绵垫等减震防护，厚度至少50m 包装后如需再集装时LY/T 2399-2014 虫白蜡，包装也应满足防护防尘的要求。产品包装随箱放入产品合格证及装箱单。 应注明数量或重量、装箱日期等，

及搬运过程中要注意轻拿轻放，应有防雨措施。

产品应赔存在无有害气体、干燥清洁的室内