JC/T 2201-2013标准规范下载简介:
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JC/T 2201-2013 镀膜玻璃用靶材5.5.3平面靶材的尺寸要求见表5。
表5平面靶材的尺寸要求
DB21 2642-2016 施工及堆料场地扬尘排放标准5.6氧化物靶材的失氧率
氧化铟锡(In2O3:10wt%(SnO)靶材的失氧率不大于 氧化钛(TiOx)靶材的失氧率不大于13%
5.7氧化物靶材的电阻率
按照表1规定的元素种类检验。表1所列靶材的化学成分检验标准见表6
表6靶材材料及其化学成分检验标准对照表
水乙醇清洗干净后,分装于清洁、干燥、符合GB/T6679一2003中9.1规定的容器中,一份供检验用, 另一份作为保留试样,保留期为两年,以供查验。
6.1.3.靶材的非金属杂质含量
按GB/T14265的规定检测。
6.2.1样品的制备:每次取样的重量不少于15g,用无水乙醇清洗干净后进行密度的测定。 6.2.2熔铸金属及合金靶材按照GB/T4472—2011中4.2.3规定的方法测定和计算相对密度。 6.2.3喷涂靶材和粉末冶金靶材按GB/T5163规定的方法测定和计算相对密度。 6.2.4金属及其合金靶材按GB/T1423规定的方法测定和计算相对密度。
根据GB/T20967的目视检测要求,眼晴在距离靶材表面300mm, 件靶材表面的孔洞、刮痕、裂纹、夹杂、熔渣或其他变形缺陷,可测量的表面缺陷应使用游标卡尺、读 数放大镜或深度尺测量。
.5.1靶材尺寸逐件测量,靶材尺寸用直尺、卡尺、角度尺、深度尺和百分表测量。 .5.2旋转靶材和衬管的直度按照GB/T11336的规定测量。 .5.3平面靶和衬板的平面度按照GB/T11337的规定测量。 5.4靶材的表面租糙度按照GB/T1031的规定测量。 65.5旋转靶的同轴度测量,按照GB/T7234的方法检验衬管圆度和靶材圆度,并做比较衡量同轴度; 圆度误差分析按照GB/T7235的规定,旋转靶厚度差用超声测微器
6.5.1靶材尺寸逐件测量,靶材尺寸用直尺、卡尺、角度尺、深度尺和百分表测量。 6.5.2旋转靶材和衬管的直度按照GB/T11336的规定测量。 6.5.3平面靶和衬板的平面度按照GB/T11337的规定测量。 6j5.4靶材的表面租糙度按照GB/T1031的规定测量。 6↓5.5旋转靶的同轴度测量,按照GB/T7234的方法检验衬管圆度和靶材圆度,并做比较衡量同轴度; 圆度误差分析按照GB/T7235的规定;旋转靶厚度差用超声测微器测量靶材中部的厚度。 6,6氧化物靶材的失氧率 6,6.1每批采取1件试样,切割下不少于10g的块状样品。 6.6.2按照GB/T20510—2006中附录A的规定,采用热增重法测定氧化物靶材的失氧率。 6.7氧化物靶材的电阻率 6.7.14 每批采取1件试样,切割下截面为5mm×5mm,长度为50mm的矩形长条试样2个,无水乙醇清
6.6氧化物靶材的失氧率
6.1每批采取1件试样, 10g的块获样品
6.7氧化物靶材的电阻率
6.7.1每批采取1件试样,切割下截面为5mmX5mm,长度为50mm的矩形长条试样2个,无水乙 洗干净后进行检验。 6.7.2按照GB/T1410规定的方法检测氧化物靶材的体积电阻率。
靶材化学成分、密度、尺寸、表面质量和内部缺陷
检验项目为本标准第5章所规定的全部技术要求。在下列情况下进行型式检验: a) 新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定; b) 正式生产后,如结构、材料和工艺等有较大改变,可能影响产品性能时; c) 正常生产时,定期或积累一定产量后; d)产品长期停产后,.恢复生产时; e)出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时。
7.2.1镀膜玻璃用靶材的成分、纯度、密度、失氧率和电阻率的检验结果中任一项不合格,该批 不合格。 7.2.2镀膜玻璃用靶材表面质量、规格尺寸及内部缺陷中任一项不合格,该件靶材不合格
FZ/T 63023-2014 锦纶单丝织带8标志、包装、运输和贮存
8标志、包装、运输和贮存
8.1.1靶材包装标志按GB/T191的规定。每个靶材的包装袋上必须标明靶材的种类、生产批号和衬管 (板)编号等。 8.1.2每根旋转靶材的端部标识靶材产品编号,每根衬管有独立于靶材的编号,在端口内侧的衬管上 分别标识。 8.1.3每块平面靶材边缘部位标识靶材产品编号,每块衬板有独立于靶材的编号,在衬板边缘部位分 别标识。 8.1.4每批出厂的产品都应附有质量合格证书(COA),证书中应标明出厂检验项目的检验结果,或另附 批次检验报告。
8.1.1靶材包装标志按GB/T191的规定。每个靶材的包装袋上必须标明靶材的种类、生产批号和衬管 (板)编号等。 8.1.2每根旋转靶材的端部标识靶材产品编号,每根衬管有独立于靶材的编号,在端口内侧的衬管上 分别标识。 8.1.3每块平面靶材边缘部位标识靶材产品编号,每块衬板有独立于靶材的编号,在衬板边缘部位分 别标识。 8.1.4每批出厂的产品都应附有质量合格证书(COA),证书中应标明出厂检验项目的检验结果,或另附 批次检验报告。
靶材用软性材料密封包装,旋转靶材两端做防变形保护,靶材与靶材之间、靶材与箱子之间使用防 户材料间隔。注意防潮防锈防碰撞,
主运输中应防潮,防震,防碰撞,避免重压。旋
靶材应贮存于干燥通风处,防潮。
本标准如出现印装质量问累YY/T 1826-2021 B群链球菌核酸检测试剂盒(荧光PCR法),由发行部负责调换。