GB/T 6617-1995标准规范下载简介：

GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。本标准适用于测量晶体取向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量与衬底同型或反型的硅外延层的电阻率。测量范围：10-3~102Ω·cm。