GB/T 14142-1993标准规范下载简介：

GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法。本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm。测量范围为0~10000cm-2。