GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 更新时间:2008年02月19日 资源 GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:GB/T 13388-1992 文件类型:.rar 资源大小:115.0KB 标准类别:国家标准 资源ID:8214 VIP资源 GB/T 13388-1992标准规范下载简介: GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 本标准规定了用X射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50~125mm,参考面长度为10~50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。 国家*用标准 核工业标准 医药标准 物资标准 机械标准 海洋标准 地方标准 烟草标准 林业标准 气象标准 档案标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法 下一篇 GB/T 13390-1992 金属粉末比表面积的测定 氮吸附法 相关文章