GB/T 15909-1995标准规范下载简介：

GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。