GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

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标准编号:GB/T 14604-1993
文件类型:.rar
资源大小:191.0KB
标准类别:国家标准
资源ID:6035
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GB/T 14604-1993标准规范下载简介:

GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧 本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求,检验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。
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