YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 更新时间:2009年03月02日 资源 YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:YS/T 23-1992 文件类型:.rar 资源大小:128.0KB 标准类别:有色冶金标准 资源ID:29501 VIP资源 YS/T 23-1992标准规范下载简介: YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 有色金属行业标准(YS) 本标 准 规 定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法本标 准 适 用于在<111>,tloo>和(110)晶向的硅单晶衬底仁生长的硅外延层厚度的测缝外延 层 中 应存在着发育完整的堆垛层错,其大小可用干涉相衬显微镜r:接观察(非破坏性的),或经化学腐蚀后用金相显微镜观察(破坏性的)。测量范围为2^75 um. 稀土标准 建筑材料标准 劳动安全标准 林业标准 商检标准 轻工标准 广播电影电视 档案标准 医药标准 电力标准 铁路运输标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 YS/T 101-2002 铜冶炼企业产品能耗 下一篇 YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法 相关文章