标准规范下载简介：
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GB／T 41213-2021 集成电路用全自动装片机.pdfGB/T 412132021
洁净度应符合GB50073一2013中第3章空气洁净度等级中的部分规定：洁净度等级优于4级（含 4级）。
JJF 1080-2013 铁路机车车辆车轮检查器检定规程相对湿度应保持在40%60%范围内
环境温度应保持在20℃~27℃范围内
防静电要求如下： a）移动部件（搬送机构、点胶机构等）电阻值应小于10Q； b）固定部件电阻值应小于1Q2； c）静电放电（ESD)消散时间：离子风箱或风扇应在5s内将电压从1000V降到35V以内。
AC电源电压应为220（1+10%）V.频率范围应在50H2~60Hz
设备额定电流应不大于16A，峰值电流应不大
5.7压缩空气压力及流量要求
真空压力应保持在一60kPa～一100kPa范围内
GB/T 41213—2021
设备外观应符合以下要求 a）设备表面无明显的凹凸不平、划伤、锈蚀等缺陷； b）设备表面经过特殊处理，避免产生颗粒、粉尘。
搬送机构应符合以下要求： a）采用夹爪的搬送机构位置精度土5um，搬送夹爪不对载体造成损伤，可调节夹爪水平，保证载 体和轨道完全贴合； b）采用钩针的搬送机构位置精度土50um，钩针不对载体造成损伤，可调节钩针位置，保证载体 在轨道内顺畅传送； c）具有防卡料、防放反等防呆措施
焊接机构应符合以下要求： a 包括焊接移动部和焊头，采用伺服电机或直线电机驱动结构。焊接移动部的定位精度为 土5um，确保焊头运动顺滑。 b 焊头配有测高机构（误差≤10um）、压力控制机构（最小荷重≤0.5N，压力在1N以内误差≤ 0.1N，压力在1N以上相对误差≤5%）和转角补偿机构（贴片转角精度土1°），并配有判断是 否吸上硅芯片的传感器。 C 装片位置有自动补偿和校正功能。 d）支持带角度芯片贴装。
顶针机构应符合以下要求： a 芯片从晶圆划片膜上脱离时，应由顶针或其他顶起方式将芯片脱离膜，并保证芯， 裂伤； b）顶针顶起高度有参数设定功能
点胶机构应符合以下要求： a）调整胶点大小；
点胶机构应符合以下要求： a）调整胶点大小：
b）具备胶点面积、位置和框架沾污的检测功能 c）点胶器参数上位机可控
下料机构应符合以下要求： a）料盒能自动升降，自动更换； b）无料盒或料盒满载时有报警功能
电气部分应符合以下要求： a）所有电气设备模块应与设备壳体可靠连接； b）设备壳体接地电阻<10α； c）设备电气控制箱应具有过载、漏电、短路的保护功能
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软件应包括以下功能： a）具有晶圆图取片功能，支持SECS/GEM联网协议； b）实时显示工作过程，如每小时装片件数（UPH）、循环时间等，并且具有以下统计功能： 统计开机时间； 统计实际运行时间； 统计实际粘接数量； 统计各种故障时间； 一统计错误次数。 c）具有配方上传、下载和保存功能
表2软件权限等级说明
[6.11 安全要求
6.11.1 一般要求
6. 11. 1一般要求
一般要求包括： a）设备应符合GB/T5226.1—2019的要求； b）设备应具有紧急开关标识、接地标识、接口标识、管线标识，可移动部件有防夹手标识，具有
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功能轨道应具有防止烫伤标识
安全防护要求应包括： 配备过电流保护装置； b）设备有急停保护按钮； C） 具有故障报警指示灯； d 设备工作中，如防护盖突然被打开，设备自动变为停机状态； e 各电机轴应设置安全限位，防止设备动作异常时发生危险事故
搬送机构的检测方法包括： a）使用激光测距仪确认搬送机构夹爪位置精度； b）使设备处于卡料状态，以及将框架故意放反，观察设备是否显示故障。
搬送机构的检测方法包括： 1）使用激光测距仪确认搬送机构夹爪位置精度； b）使设备处于卡料状态，以及将框架故意放反，观察设备是否显示故障。
焊接机构的检测方法包括： 使用激光测距仪确认焊接移动部X、Y、Z向位置精度； b） 使用设备自身测高程序测量轨道固定位置高度10次，加上10mm×10mm×1mm垫块之后 再测量10次，确认测高机构误差≤10um； 利用测力计确认荷重值； 通过高倍显微镜测量贴片转角精度； e 目测吸取芯片流量传感器是否配置； f 实际运行设备确认装片位置自动补偿和校正功能。
焊接机构的检测方法包括： 使用激光测距仪确认焊接移动部X、Y、Z向位置精度； b 使用设备自身测高程序测量轨道固定位置高度10次，加上10mm×10mm×1mm垫块之后 再测量10次，确认测高机构误差≤10um； 利用测力计确认荷重值； d）通过高倍显微镜测量贴片转角精度； 目测吸取芯片流量传感器是否配置； f）实际运行设备确认装片位置自动补偿和校正功能
使用光学标定板作为图像识别的检测标准，启动设备软件对光学标定板进行识别， 精度。
顶针系统的检测方法包括： 使用100倍显微镜检测芯片是否有裂伤； ）使用塞尺确认顶起高度
顶针系统的检测方法包括： a）使用100倍显微镜检测芯片是否有裂伤； b）使用寒尺确认顶起高度。
下料机构的检测方法包括： a）实际运行设备进行料盒升降、更换检测； b）使设备分别处于无料盒和料盒满载的状态，观察设备是否报警。
电气检测方法包括： a）按照图纸检测是否可靠连接； b）使用接地电阻测量仪测量设备壳体接地电阻； c）使控制箱分别处于过载、漏电、短路状态，检测保护功能是否启动。
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软件功能检测方法如下： a）按照6.10.1的要求检测运行设备，验证设备软件是否具备规定的各项功能。 b）UPH检测方法：设备正常连续生产1h,统计所生产的芯片数量对应的数值
7.10.2权限等级检测
通过软件分别登录三个权限等级的用户账户，检测每个权限等级的登录用户是否只可又 表2所述的权限内容
产品安全性检测方法包括： a）检测是否符合GB/T5226.1一2019的要求。 b）检测有无6.11.1要求的安全标识。 c）使控制箱处于过电流状态，检测保护功能是否启动，信号报警装置是否启动 d）按下急停开关，检测设备是否能立即断电。 在设备运行过程中，检测防护盖打开情况下设备是否停止运行。 f移动各电机轴.观察是否仅在设定的安全限位内移动
产品检验分为型式检验和出厂检验。
有下列情况之一者，应进行型式检验： a）新产品鉴定时：
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b）结构、材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能和质量时； c）停产三年以上恢复生产时； d）国家质量监管机构提出进行型式检验的要求时。 检验项目应符合表3的要求，检验台数不得少于1台， 型式检验的内容全部合格，判定该产品型式检验为合格，否则判定为不合格
所有产品经设备制造商质量检验部门检验合格后方可出厂。产品出厂时，应附有质量检验部门签 发的产品合格证。出厂检验项目应符合表3的要求。 出厂检验的内容全部合格GB 16487.7-2017 进口可用作原料的固体废物环境保护控制标准—废有色金属，判定该产品出厂检验为合格，否则判定为不合格。 出厂检验出现不合格项目时，允许返修后重新检验；返修次数不应超过两次。若出现不可修复项 目，则判为不合格品。
每台装片机应固定产品铭牌，符合GB/T13306的规定，并标明以下内容： a） 商标； b）设备名称、型号； c）设备制造厂名、地址； d）出厂编号及日期； e）产品整机功率：
包装箱图示标志应符合GB/T191的规定。
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包装满足以下要求： a）采用封闭真空包装，隔振处理，包装前零部件在箱内应固定牢固并放有干燥剂； b）包装箱内应附有设备合格证、设备使用说明书和装箱清单等随机文件； c）包装箱上应有防碰撞、防倾斜指示标识
包装满足以下要求： a）采用封闭真空包装，隔振处理，包装前零部件在箱内应固定牢固并放有干燥剂； b）包装箱内应附有设备合格证、设备使用说明书和装箱清单等随机文件； c）包装箱上应有防碰撞、防倾斜指示标识
运输满足以下要求： a）运输过程中应防止雨雪直接淋袭； b）装车和运输过程中应有防止震动与跌落的紧固措施
备装箱后应存任环说温度为 ~30C，相对湿度≤80%，通风、清洁、无腐蚀气 储存期间每半年抽查一次DB37T 1696-2020 煤矿安全监控系统安全检测检验规范，每一年全面检测一次
备装陷仔仕环现温度为 ，相亚度80，通、消、儿衡遇体本的至内 储存期间每半年抽查一次，每一年全面检测一次